室温永磁探头台为半导体芯片的电气参数测试提供了一个测试平台, 外部不同的测量仪器, 用该测量仪可以完成与集成电路的电压测量, 当前的, 电阻, 并对电容-电压特性曲线等参数进行了测试. 除了, 它可以用来测量载流子浓度, 流动性, 电阻率, 霍尔系数等半导体材料的重要霍尔参数. 在室温下对芯片、晶圆片和器件进行无损检测.

  PSPM系列室温永磁测头台是专为室温垂直磁场电测量环境而开发的测头台, 提供0.5T垂直磁场, 可达2英寸, 4", 6", 8"晶圆片用于重复, 标准电学实验, 外部不同的测试设备可以完成对该装置的电气特性的测量, 参数测量, 直流测量, 射频测量, 和霍尔测量.

特点:
-样品架可容纳8英寸晶圆样品, 把载玻片移到样品夹下面, 可实现X-Y轴±100mm的行程, 样品夹本身可以在三维上进行精细调整, 这使得样品测试和样品更改更方便.
—探头臂底部用磁铁固定, 允许探头在三维空间内调整, x y z, 还有样品夹的移位调节, 探针可以快速插入8英寸样品的任何位置.
-探头臂由三轴电缆和三轴接头组成, 漏电流在100fa以内, 内置电缆，避免布线混乱.
—探头用针套固定, 只有针尖露出来, 减少漏电.
—永磁体采用电控, 能实现前后转弯的动作吗.
-永磁体支架和探针台彼此分开，以避免磁铁运动时振动传递给样品.
-样品固定方法采用多孔隔板吸附, 外环有三个独立控制的气体吸附通道, 内环和中间, 哪个可以吸附和固定1mm*1mm的样品.