低温探测站在科学研究和技术发展中起着至关重要的作用. 它能够在低温环境下对样品进行各种非破坏性的物理和电气性能测试, 这有助于研究人员深入了解材料或设备的各种物理和电气特性, 从而为新材料的开发和应用提供了重要的数据支持.

  PSM-65K低温探测站是一种经济紧凑的闭式循环低温探测站，具有紧凑和低振动的设计, which can provide a <65K-350K high and low-temperature vacuum test environment for electrical parameter testing of semiconductor chips, 并可与不同的电测量仪器相连接, 可完成具有IV等参数的材料/器件的测试, CV, 光学, 和微波, 等., 实现了芯片的无损电气检测, 低温真空环境下的晶圆和器件. 芯片的无损电气检测, 低温真空环境下的晶圆和器件.

特点:
-采用小、低振动的闭式循环制冷，在65K时不消耗液氦.
—振动小于1μm.
-宽测试温度范围，支持65K-350K连续温度变化.
—低功耗，输入功率320W.
-探头臂位移调整在真空室外操作, 允许在不破坏真空的情况下切换样品上的不同设备进行测试.
-独特的四维X-Y-Z-R调整探头臂允许测试多达4英寸的样品.
-探头臂采用三同轴连接器，防漏性能好, 测量泄漏电流小于100fA @1V@65K-350K.
-真空腔是铝制的, 哪一种能有效减少外界电磁干扰，提高测试的准确性和稳定性.