室温真空探头级可为半导体芯片的电气参数测试提供一个室温真空测试环境. 通过外部连接不同的电气测量仪器, 它可以完成集成电路的参数测试, 比如电压, 当前的, 电阻, 及静脉曲线图, 等. 用于芯片的无损电气检测, 晶片, 并将设备置于室温真空环境中.

  PSV系列室温真空测头台是专为室温真空电气试验环境而研制的测头台, 可重复无破坏性, 2英寸和4英寸晶圆上的标准电气实验, 并可采用外部不同的测试设备来完成设备的电气特性测试, 参数测量, 直流测量, 和射频测量.

特点:
-真空室能够达到5e - 4mbar的极限真空，并通过连接到KF25法兰的真空泵进行抽真空.
-样品架可容纳4英寸晶圆样品, 探针臂的位移调节在真空室外操作, 允许在不破坏真空的情况下在样品上切换不同的设备进行测试. 探头臂可以在X-Y-Z-R范围内进行四维调整, 哪一个能满足之字形测试4英寸范围内的所有位置.
-真空室由铝制成, 哪一种能有效减少外界电磁干扰，提高测试的准确性和稳定性.
-带三个同轴连接器的直流探头臂, 良好的泄漏性能, 使用4200测得的漏电流小于100fA @ 1V.
-独特设计的柔性探头, 探针将被安装在铜弹片上, 避免在敲击过程中过大的力导致样品或电极损坏.
-可选配微波探头臂，频率可达110GHz.