CN/ EN

离子泵

离子泵

安捷伦4UHV离子泵控制器可同时控制多达四个离子泵, 允许独立运行的泵和支持每个模型(包括二极管), 高贵的二极管, 和StarCell).LCD显示屏同时读取和显示四个通道的信息, 包括离子泵电压, current, 和压力. 可变电压提供泵速和压力的优异读数. 内置设定值,远程操作和RS232/485电源是标配. 4UHV离子泵-设计用于超高真空

离子泵概述

IPCMini -新的单通道离子泵控制器
紧凑而强大,1/4“机架,1.9kg, 3.5-inch touch screen operation; can control Agilent 0.2-500l/s ion pumps and is compatible with other mainstream brands; new IStep mode, 低起点更容易
新的IStep模式, easier to start under low pressure; high current resolution, more accurate readings in the low pressure range; I/Oresponse <10ms, can be interlocked with the valve; can be set to automatically turn on after the recovery from power outage; USB interface to upgrade the software and logging data

具有各种抽速范围的离子泵
-微型泵,泵速从0.2至10升/秒.
-中小型泵,泵速从20到75升/秒.
-大抽速150 ~ 1000l /秒.
—钛升华复合离子泵
-其他特殊型号,以满足客户需求

高真空加工
安捷伦真空采用严格的高真空工艺,以确保其离子泵的卓越品质:
-离子泵体和所有内部材料在450ºC的严格超高真空环境下脱气.
-每个离子泵在出厂前经过RGA分析,并在真空密封条件下包装
可根据用户的特殊要求定制设计
可根据用户要求定制设计泵体结构:
-低温墨盒和钛升华泵可与侧面或底部安装选项
-带有定制复合吸入器(NEG)模块的离子泵
-集成加热和烘烤装置
—扩展接口

烘箱加热装置
-可选配烘烤加热器,以更好地烘烤泵体.
-简化操作

高压电源线
-新型高压电力电缆,采用“高压安全联锁”,避免潜在的放电危险
—当水泵电源线断开时,自动切断高压输出.
-可定制长度
—可靠、灵活的金属组件电缆
—可靠、柔软的金属组件电缆耐辐射107gy

离子泵技术参数

离子泵基本配置

半导体
IC
Wafer

推荐