PSM-LN2系列液氮高低温探针台能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个80K-800K高低温真空测试环境，通过外接不同的电学测量仪器，可完成集成电路的电压、电流、电阻以及IV曲线等参数检测，用于低温真空环境下的芯片、晶圆和器件的非破坏性电测试。
• 液氮高低温真空探针台，15分钟内腔体真空度可达到 10E-4torr，液氮消耗量小,降到温度只需0.2L液氮，使用方便快 捷同时兼顾经济性。
• 探针臂的位移调节在真空腔外操作，可以在不破坏真空 的情况下，切换样品上的不同器件进行测试。
• 独特的探针臂 X-Y-Z-R四维调节，能满足4英寸样品的测试。
• 真空腔材质为铝制材料，能够有效减小外界的电磁干扰，提高测试的精准度和稳定性
• 探针臂采用三同轴接头，漏电性能好，实测漏电流小于100fA @1V@80K--800K
• 测试温度范围宽，支持80K-800K连续变温。
• 独特设计的柔性探针，将探针安装到铜制弹片上，避免扎针过程中力量过大导致样品或电极损坏
• 上盖采用翻盖结构，换样更便捷。
